SURO 表面金属涂层单元, CVD涂层服务 CVD-EQUIPMENT (化学气相沉积-设备) 能自动沉积耐磨和减少表面摩擦的涂层.. 可以在钢铁、硬质合金、陶瓷工具和易磨损部件表面上沉积的涂层是 |
手动操作的CVD单元 CVD-EQUIPMENT |
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CVD 过程描述 CVD(化学气相沉积)是一个将单层或多层氮化物、碳化物、氧化物薄膜涂至多种基体表面的过程.CVD 涂层应用的温度约1000°C.在一个真空和加热的密封容器 (反应室)中在基体(被涂层工件)上沉积各种涂层。将气体 (H2(氢气)、N2(氮气)和CH4(甲烷))和前体钛(四氯化钛,TiCl4)及AlCl3(三氯化铝 )控制并输入到反应室中. 最后通过将氧化铝涂层涂至表面一种黑色的超硬并耐腐蚀的涂层。其他涂层是氮化钛(金色),碳化钛(金属色)和碳氮化钛(紫色)。 |